Características del Producto
Los productos Semitron® Formulaciones Semiconductoras, han sido desarrollados para ayudar a los diseñadores y a los usuarios a optimizar el rendimiento de los equipos de fabricación de dispositivos. Además de la fabricación de dispositivos, muchos de estos materiales son ideales para entornos específicos donde se requiere resistencia al desgaste, resistencia química y el manejo de electricidad estática.
Se han desarrollado dos grupos de productos: uno adecuado para el manejo de dispositivos y aplicaciones de prueba, y el segundo para el uso de CMP de siguiente generación.
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Semitron® MP 370 ofrece más opciones en el diseño y fabricación de contactos de precisión para pruebas en la industria de fabricación de semiconductores. Además de mantener la baja absorción de humedad y la alta resistencia térmica del PEEK, Semitron® MP 370 ofrece una mayor resistencia y estabilidad dimensional. Esta formulación personalizada permite un acabado más fino debido a su facilidad de mecanizado.
Semitron® MDS 100 tiene una notable combinación de resistencia, rigidez y estabilidad, ha sido desarrollado para ser utilizado en entornos de aplicación no controlados o donde se requiera alto nivel de precisión. Es una opción ideal para contactos de prueba de semiconductores, nidos y accesorios de equipos de prueba y equipos de embalaje.
Semitron® ESd 225 es adecuado para las fijaciones utilizadas en la fabricación de unidades de disco duro o en la manipulación en proceso de obleas de silicio. Es de color canela.
Semitron® ESd 410C es adecuado para el manejo de circuitos integrados a través del entorno de controlador de prueba. Es de color negro y opaco.
Bandejas para Manejo de Materiales
Las bandejas elaboradas con Semitron® ESd 410C disipan cargas estáticas y son dimensionalmente estables. (Materiales previos: PPS, PEEK, Vespel® PI)
Semitron® ESd 420 es el único producto plástico realmente disipador de estática para uso en aplicaciones de altas temperaturas.
Semitron® ESd 420V ofrece rendimiento de disipación de 106 – 109 W/sq. para todo su rango de rendimiento térmico. Es un material rígido, de alta resistencia, que no presenta cambios dimensionales como consecuencia de la exposición a la humedad. Semitron® ESd 420V es una alternativa económica para aplicaciones que no requieren el requisito térmico de los materiales de ultra-alto rendimiento.
Este material disipador estático basado en PEEK, proporciona un rango de disipación de 106 – 109 W/sq. Semitron® ESd 480 es dimensionalmente muy estable, lo que lo hace ideal para aplicaciones críticas de fijaciones. Su excepcional resistencia química hace que sea adecuado para su uso en obleas de semiconductores y otras aplicaciones estructurales en herramientas durante procesos húmedos, donde la disipación estática es importante. Al igual que todos los materiales Semitron® ESd de Mitsubishi Chemical Advanced Materials, Semitron ESd480 no es susceptible rupturas dieléctricas.
Un material basado en PEEK un poco más resistente que ofrece propiedades físicas similares a las del Semitron ESd 480.
Reforzado con mica sintética patentada, Semitron® ESd 500HR ofrece una excelente combinación de propiedades de fricción y estabilidad dimensional. Semitron® ESd 500HR debe considerarse en aquellas aplicaciones donde se utiliza PTFE. Es ideal para aplicaciones donde el drenado controlado de cargas estáticas es crítico. Es de color blanco.
Insertos
Los insertos disipadores estáticos mecanizados de Semitron® ESd 500HR reducen el daño a dispositivos sensibles debido a descargas electrostáticas. (Material previo: cerámica)
Semitron® ESd 520HR es el primer producto industrial en combinar disipación electrostática (ESd), resistencia y alta resistencia a la temperatura. Este nuevo material ESd es ideal para la elaboración de nidos, contactos y contactores para equipos de prueba y otros dispositivos de manipulación. La característica clave del 520HR es su capacidad única de resistir ruptura dieléctrica a alta tensión (>100V). La siguiente tabla muestra el rendimiento eléctrico de los materiales plásticos comúnmente utilizados en controladores de prueba automatizados. Típicamente los productos reforzados con fibra de carbono se hacen irreversiblemente más conductivos cuando se exponen incluso a voltajes moderados.
Solo el Semitron® ESd 520HR conserva su rendimiento a lo largo del rango de voltaje, al mismo tiempo que ofrece el rendimiento mecánico necesario para destacar en las aplicaciones exigentes.
Disipación Estática (Resistitividad superficial, ohms/sq.) | |
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Semitron® ESd 225 | 1010 - 1012 |
Semitron® ESd 410C | 104 - 106 |
Semitron® ESd 420 | 106 - 109 |
Semitron® ESd 500HR | 1010 - 1012 |
Semitron® ESd 520HR | 1010 - 1012 |
IC Dispositivos para pruebas
Un fabricante de dispositivos de fijación de pruebas comenzó a usar Semitron® ESd 520HR que combina disipación electrostática (ESD) y alta resistencia mecánica, para elaborar cabezales de prueba de circuitos integrados. La alta resistencia mecánica del Semitron® ESd 520HR da como resultado una mayor vida útil de los cabezales de prueba y, por lo tanto, más unidades probadas por hora.
Semitron ESd 520HR es el primer producto que reúne todas las necesidades de rendimiento físico para nidos de prueba, contactos y contactores, en combinación con un comportamiento ESd. Presenta tanto ESd (Resistencia a superficies eléctricas de 1010 a 1012 ohms/sq.) como suficiente resistencia para minimizar el riesgo de “fuga”. También es significante la habilidad del Semitron ESd 520HR para conservar su resistividad superficial a fuerzas eléctricas mayores a los 100 voltios.
La línea de productos de Semitron® CMP fue desarrollada para proporcionar a diseñadores de nuevas herramientas y a usuarios finales con visión de futuro, una oportunidad de incrementar el número de mecanismos exitosamente producidos por oblea de semiconductor (wafer), mientras disminuye el costo de consumibles por dispositivo. Esto se logra incrementando la vida útil del anillo de retención.
PET-P CMP Optimizado
Semitron® CMP LL5 es uno de los materiales de última generación, desarrollado para incrementar significativamente el posible rendimiento de las herramientas CMP. Es de color blanco y opaco.
PAI CMP Optimizado
Semitron® CMP XL20 es el material CMP premium desarrollado por el Equipo de Investigación y Desarrollo de Mitsubishi Chemical Advanced Materials. Es de color negro carbón y opaco.
Es importante saber cómo el voltaje aplicado afecta a la resistencia de un material. Algunos materiales presentan una alta resistencia a voltajes bajos, pero cuando se someten a condiciones más duras, pueden fallar. Esto se debe a la ruptura dieléctrica y es irreversible. Este gráfico ilustra el efecto de aplicar secuencialmente 100 a 1.000 voltios, luego regresar a 100 voltios para determinar la histéresis. Puesto que la electricidad estática puede ser de varios miles de voltios, se debe considerar un rendimiento constante a lo largo de todas las variaciones de voltaje.