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Semitron® 반도체 산업용 소재

제품설명

Semitron® 반도체 그레이드 제품은 설계자 및 사용자들이 디바이스 제조 장비의 성능을 최적화하도록 지원하기 위해 개발되었습니다. 디바이스 제조 외에도, 동소재들은 내마모성, 내화학성 및 대전 방지 기능이 필요한 특수 환경에 이상적입니다.
Semitron 반도체 그레이드 제품은 디바이스 핸들링 및 테스트용 CMP 용도로 2가지 그룹의 제품이 개발 되어 있습니다.

미세홀 가공용 소재(신제품)

Semitron® MP 370 Semitron® MDS 100

제품 설명
Semitron® MP 370은 반도체 제조 공정 중 테스트 공정의 정밀 테스트 소켓으로 많이 선택됩니다. PEEK의 낮은 수분 흡수성 및 높은 내열성을 그대로 유지하는 동시에 더 높은 강도와 치수 안정성을 제공합니다. 본 제품은 가공성이 매우 좋기 때문에 더 정교하고 깨끗하게 가공할 수 있습니다.
- 수분 흡수율 매우 적음
- 뛰어난 가공성 - Fine Pitch 홀 가공 가능
- 일반 PEEK 소재보다 높은 강도와 경도
- 내부 스트레스에 의한 변형이 매우 적고 물성이 매우 균질함

제품 설명
Semitron® MDS 100은 강도, 경도 및 치수안정성이 우수하며 고도의 정밀성이 요구되는 분야에 사용하도록 개발되었습니다. 반도체 테스트 공정에서 사용되는 부품 및 패키지 장비의 구조체 용도로 이상적입니다.
- 수분흡수율 : 0.1%/24시간
- 내열특성: 410°F (210°C) 까지
- 굴곡 탄성 계수> 1,400,000 psi

대전방지용 Acetal

Semitron® ESd 225

제품 설명
Semitron® ESd 225는 하드디스크 제조 또는 실리콘 wafer handling 용도로 사용되며, 색상은 베이지색입니다.
- 표면 저항치: 10E8 – 10E10 Ohms/sq
- 내열특성: 225°F (107°C) 까지
- 내마모성 양호
제품 용도
웨이퍼 콤(Wafer Combs)
Semitron® ESd 225로 만든 웨어퍼 콤(wafer combs)은 해마다 웨이퍼의 손실로 인해 수 백만 달러가 낭비되는 이송 장비의 정전기 문제를 해결합니다. (이전 소재: 나일론, 일반 아세탈)

대전방지용 PEI

Semitron® ESd 410C Semitron® ESd 420 Semitron® ESd 420V

제품 설명
Semitron® ESd 410c는 테스트 핸들러 장비(Test handler) 의 부품으로 이상적입니다. 검정색이고, 불투명입니다.
- 표면 저항치: 10^4 - 10^6 ohms/sq.
- 내열 특성: 410°F (210°C) 까지
- 정밀 가공에 적합한 저 스트레스 소재
- 강도 및 강성 높음
제품용도
핸들링 트레이(Handling Trays)
Semitron® ESd 410C로 제조한 트레이는 대전 방지 기능을 지니고 있으며, 치수적으로 안정되어 있습니다. (이전 소재: PPS, PEEK, Vespel® PI)

제품설명
Semitron® ESd 420은 고온 애플리케이션에서 사용하는 대전방지 플라스틱 제품입니다.
- 표면저항치: 10^6 - 10^9 ohms/sq.
- 열 성능

제품 설명
Semitron® ESd 420V는 전체 온도 성능 범위에 대해106 - 109 ohms/sq의 산일 성능을 제공합니다. 습윤에 노출되더라도 치수 변화가 없는 단단하고 강도 높은 소재입니다. Semitron® ESd 420V는 초고성능 소재의 열성능이 필요없는 장비를 비용 효율적으로 대체합니다.

대전방지 PEEK

Semitron® ESd 480 Semitron® ESd 490HR

제품설명
PEEK에 기반한 정적 산일 소재는 산일 범주가 106-109 ohms/sq입니다. Semitron® ESd 480은 치수와 관련하여 매우 안정적이어서 임계실험 고정장치 응용에 이상적입니다. 예외적인 화학적 반응성으로 웨이퍼 취급 시 사용하거나 정적 산일이 중요한 습식 도구에 있어 기타 구조적 응용을 할 경우 적합합니다. 미쓰비시 케미칼 어드밴스드 머티리얼즈 코리아의 모든 Semitron® ESd 소재처럼 Semitron ESd 480은 유전 파괴가 되지 않습니다. (본 페이지의 엔지니어링 주의사항 참조)

제품 설명
Semitron ESd 480과 유사한 물리적 특성을 제공하는 열 저항률이 약간 높은 PEEK 기반 소재.
- 표면 저항률: 1010 - 1012 ohms/sq

대전방지용 PTFE

Semitron® ESd 500HR

제품 설명
독점 기술의 합성 운모로 보강한 Semitron® ESd 500HR은 낮은 마찰 특성과 치수 안정성이 잘 결합되어 있습니다. PTFE이 사용되는 곳에는 Semitron® ESd 500HR을 고려해야 합니다. 정전기를 제어 방식으로 빼내야 하는 장비에 이상적입니다. 흰색입니다.
- 표면 저항률: 1010 - 1012 ohms/sq
- 열 성능: 500°F (260°C)
- 열 절연
- 마찰 계수 매우 낮음
- 폭넓은 내화학성
제품 정보
- Material Safety Data Sheet
제품 용도
인서트(Inserts)
Static dissipative inserts machined from Semitron® ESd 500HR plate reduce damage to sensitive devices due to static discharge. (Prior material: Ceramic)

Static Dissipative Machining Stock

Semitron® ESd 520HR

제품 설명

Semitron® ESd 520HR은 업계 최초로 정전기 방전(Eds), 높은 강도 및 내열성을 결합한 것입니다. 이 새 Eds 소재는 네스트, 소켓 및 검사 장비의 컨택터 그리고 기타 디바이스 핸들링 구성품을 만드는 데 이상적입니다. 520HR의 주요 특징은 고전압(> 100V)에서 절연 파괴에 아주 강합니다. 아래 그래프는 자동 검사 장비에서 흔히 사용하는 플라스틱 소재의 전기적 성능을 나타낸 것입니다. 일반적인 탄소섬유 인핸스트 제품은 중간 수준의 전압에 노출될 경우, 돌이킬 수 없을 정도로 전도성이 높아집니다.
Semitron® ESd 520HR은 전압 범위에 걸쳐 성능을 유지하는 유일한 소재이며, 까다로운 장비에서도 뛰어난 기계적 성능을 제공합니다.

표면 저항률: 1010 - 1012 ohms/sq

정적소모(Static Dissipation) 표면저항치(Surface Resistivity, ohms/sq.)
Semitron® ESd 225	10¹⁰ - 10¹²
Semitron® ESd 410C	10⁴ - 10⁶
Semitron® ESd 420	10⁶ - 10⁹
Semitron® ESd 500HR	10¹⁰ - 10¹²
Semitron® ESd 520HR	10¹⁰ - 10¹²

제품 용도
IC 디바이스 검사 장비
최근 들어, 검사 장비 제조사는 Semitron ESd 520HR을 사용하여 정전기 방전(Eds)과 높은 기계적 강도를 결합하여 통합 회로의 테스트 헤드를 만들기 시작했습니다. Semitron® ESd 520HR의 기계적 강도가 높기 때문에, 테스트 헤드의 수명이 늘어나고 시간 당 (검사되는) 유닛도 많아집니다. Semitron ESd 520HR은 ESd 성능을 결합하여 테스트 네스트, 소켓 및 접촉기의 모든 물리적 성능 니즈를 충족시키는 업계 최초의 제품입니다. ESd (표면 저항률: 1010 ~ 1012 ohms/sq)이며, '누설;(크로스토크) 위험을 최소화하기에 충분한 저항성을 보유하고 있습니다. 또한, Semitron ESd 520HR은 100V 이상의 전기력에서 표면 저항률을 보존할 수 있습니다.

Semitron® CMP Materials

Semitron® CMP 제품 라인은 새 공구 디자이너와 전향적인 최종 사용자들에게 웨이퍼 당 성공적으로 생산되는 디바이스의 수를 높이는 동시에 디바이스 당 소모품의 비용을 낮출 수 있는 기회를 제공하기 위해 개발되었습니다. 이것은 보존 링의 서비스 수명을 늘어났기 때문에 가능합니다.

Semitron® CMP LL5 Semitron® CMP XL20

제품 설명
CMP 최적화된 PET-P
Semitron® CMP LL5는 CMP 공구의 성능을 크게 증대하기 위해 개발된 차세대 소재 중 하나입니다. 흰색이며, 불투명입니다.
- 긴 소재 수명 - 최대 5x PPS
- 140°F (60°C)까지 CMP 장비에 이상적
- 산화물 반응에서 성능 최고 - 최대 8x PPS

제품 설명
CMP 최적화된 PAI
Semitron® CMP XL2은 미쓰비시 케미칼 어드밴스드 머티리얼즈의 연구개발 팀에서 개발한 프리미엄급 CMP 소재입니다. 짙은 회색/검정색이며, 불투명입니다.
- 웨이퍼 당 비용 크게 절감
- 대부분의 프로세스에서 최대 20x의 PPS 성능
- 높은 강도 및 경도로 엣지 결함이 적고 균일성은 증가함