Semitron® MPR-1000

Semitron® MPR 1000の加工品は、優れた耐熱性およびプラズマチャンバーにおける低ガス放出および低浸食性を備えています。このイオン含有量が低い高純度材料は、半導体および電子工学業界におけるエッチング、CVD、イオン注入のサブセグメントでの真空チャンバー用途で多く採用されています。

Semitron® MPR 1000は、従来の材料に比べて寿命が長く、たとえば、オゾン内でポリイミドより最大25倍寿命が長いこともあります。この長寿命により、真空チャンバー用途において、石英、セラミック、ポリイミド、その他のエンジニアリングプラスチックといった従来の材料に代わって使用されています。