Semitron® MPR-1000

Polyamide-Imide

Semitron® MPR 1000の加工品は、優れた耐熱性およびプラズマチャンバーにおける低ガス放出および低浸食性を備えています。このイオン含有量が低い高純度材料は、半導体および電子工学業界におけるエッチング、CVD、イオン注入のサブセグメントでの真空チャンバー用途で多く採用されています。

 

Semitron® MPR 1000は、従来の材料に比べて寿命が長く、たとえば、オゾン内でポリイミドより最大25倍寿命が長いこともあります。この長寿命により、真空チャンバー用途において、石英、セラミック、ポリイミド、その他のエンジニアリングプラスチックといった従来の材料に代わって使用されています。

Semitron® MPR-1000 plastic stock shapes
製品情報

材料の特性

 

  • 低いイオン含有量とガス放出
  • 優れた耐熱性
  • プラズマチャンバーにおける最小限の浸食性
  • チップの最適な耐性、耐久性、機械加工性
  • 厳しいチャンバー用途向けの特別な設計

 


利用可能な形状

Semitron® MPR-1000 材料成形には、次の形状の標準サイズの範囲が含まれます: ロッド, プレート

ロッド
プレート

利用可能な色

Semitron® MPR-1000 材料成形には、次の色があります: 黄土色, 黒


地域の選択肢

製品、形、色の選択肢は地域により異なる場合があります。

ドキュメント