En bref

Étude de cas Semitron® MPR1000

Nous avons aidé notre client à prévenir l'érosion prématurée des pièces en polyimide (PI) utilisées dans les chambres à vide de son outil gravure.

Fort heureusement pour lui, notre connaissance du secteur et notre approche résolument avant-gardiste nous avaient déjà amenés à développer un matériau PAI amélioré répondant aux strictes exigences de la gravure de semi-conducteurs.

Ensemble, nous avons ajusté le nouveau matériau selon les spécifications du client tout en réalisant des tests bêta de ses performances en conditions réelles. Résultat : notre matériau exclusif Semitron® MPR1000 (polyamide-imide amélioré) offre une protection beaucoup plus longue que les polyimides classiques contre l'érosion due au nettoyage à l'oxygène des équipements.

Secteur : Semi-conducteurs et Électronique, fabrication de puces

Solution : développement d'un nouveau matériau avancé, haute résistance et haute pureté, permettant de construire des pièces plus fiables.

Produit : Semitron® MPR1000, polyamide-imide (PAI) amélioré

Résultats : des pièces plus solides, plus résistantes au nettoyage à l'oxygène des équipements, qui réduisent la fréquence des temps d'arrêt et prolongent les cycles de production entre les opérations de maintenance planifiées.

Défi

Améliorer l'intégrité des pièces pour assurer une production continue

Un grand fabricant d'équipements de traitement de semi-conducteurs était confronté à l'érosion rapide et à la défaillance des pièces en polyimide (PI) utilisées dans ses chambres de gravure à vide. La détérioration des matériaux existants posait des problèmes de contamination et imposait des interruptions prématurées et coûteuses de la production pour maintenance planifiée.

Nous devions produire des pièces répondant aux normes de résistance et de pureté requises et capables de résister à des processus intensifs de nettoyage à l'oxygène afin d'optimiser la disponibilité de l'outil.

Une meilleure intégrité des pièces pour une production continue
Solution

Une approche proactive du développement de matériaux hautes performances

Notre connaissance du secteur et notre approche résolument avant-gardiste nous a permis de développer un nouveau matériau polyamide-imide innovant capable de supporter les traitements de l'outil de gravure et les protocoles de nettoyage, optimisant ainsi la disponibilité de l'outil en réduisant la fréquence des maintenances planifiées.

En partenariat avec l'équipe technique de l'OEM, nous avons affiné le matériau selon les spécifications client tout en testant activement ses performances en conditions réelles (bêta testing).

Résultat : notre matériau exclusif Semitron® MPR1000 (polyamide-imide amélioré) offre une protection beaucoup plus longue que les polyimides classiques contre l'érosion due au nettoyage à l'oxygène des équipements.

 

Semitron® MPR1000 offre une protection plus longue que les polyamides classiques
Partenaires du possible
Avant même qu'un client en fasse la demande, nos équipes travaillaient déjà au développement du matériau que notre client attendait pour pérenniser son activité. Notre expertise du secteur en collaboration étroite avec l'OEM nous a permis de développer un matériau unique alliant la stabilité d'une céramique, la ductilité d'un polymère, et parfaitement adapté aux exigences de la fabrication de technologies de pointe.
Résultats

Moins de retards de production, coûts réduits

Notre nouveau matériau, développé en partenariat avec l'OEM, est le fruit d'une nouvelle approche pour la formulation de polyamides-imides avancés (PAI) et la solution au problème des temps d'arrêt en production chez notre client.

Lors des tests, le Semitron® MPR1000 s'est montré moins sujet à l'érosion ionique et au dégazage que les matériaux polyimides classiques disponibles sur le marché. Il est donc moins contaminant, même après des heures de cycles de gravure dans les environnements à vide des outils standards. De plus, il a été démontré que les pièces en Semitron® MPR1000 ont une durée de vie 10 à 15 fois plus longue que d'autres matériaux, augmentant ainsi la disponibilité de l'outil en espaçant les opérations de maintenances.

L'utilisation de pièces en Semitron® MPR1000 a non seulement aidé les OEM à exploiter leurs équipements selon les spécifications qu'ils se sont engagés à respecter, mais aussi amélioré les temps d'arrêt de 90% et ainsi augmenté significativement leur capacité de traitement de wafers.

  • Durée de vie plus longue dans les environnements de gravure nettoyés à l'oxygène favorisant l'érosion
  • Frais de maintenance réduits
  • Disponibilité accrue de l'outil de production entre les cycles de maintenance planifiée
Nos matériaux pour semi-conducteurs et électronique
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