Semitron® 半导体工程塑料

Semitron MP 370材料用在半导体制造行业，为精密测试座（socket）的设计和制作提供了更多选择性。Semitron MP 370不仅有PEEK固有的极好吸湿性和耐高温性，而且具有更高的强度和尺寸稳定性。因这款订制配方材料的机加工性能卓越，因此可以做到更为精细和干净地加工。

• 极低的吸湿性
• 优秀的机加工性能，可实现极小而紧密的孔模
• 强度和刚度超越了未填充的PEEK材料
• 内应力低和无模塑坯件的"软心"问题

Semitron MDS 100非常好地综合了强度、刚度和稳定性的特性。它的开发旨在用于不受控制或者高精密度要求的应用场合。Semitron MDS 100是半导体测试座（socket）、嵌套（nest）、夹具和封装设备的理想选材。

• 24小时只有0.10% 的吸湿率（ASTM D570）
• 耐温至210°C
• 弹性模量 > 1,400,000 psi

Semitron ESd 225是硬盘驱动器制造过程中所用夹具的理想选材；也是硅晶圆工艺操作时的理想选材。它的颜色为褐色。

• 表面电阻率：10E8 – 10E10 Ohms/sq
• 耐温至107°C
• 良好的耐磨性能

晶圆梳

由Semitron® ESd 225机械加工而成的晶圆梳，解决了传送设备产生的静电问题，该问题曾导致每年上百万美元的晶片损失。（替代先前材料：尼龙、标准聚甲醛）

• 产品性能数据表

Semitron ESd 410C用在芯片检测制程中操作芯片，使其通过检测设备。它的颜色为黑色，不透明。

• 表面电阻率：104 - 106 ohms/sq.
• 耐热至210°C
• 应力低，紧公差加工适用
• 较高的强度和刚度

操作托盘

Semitron® ESd 410C 加工而成的托盘，具有可靠的抗静电性能，尺寸稳定。（替代先前材料：PPS、PEEK、Vespel® PI）

• 产品性能数据表

Semitron ESd 420是唯一一款真正可用于高温环境的抗静电塑料产品。

• 表面电阻率：106 - 109 ohms/sq.
• 热性能好

Semitron ESd 420V的表面电阻率为106 - 109 ohms/sq 。它是一种坚硬、高强度的材料，暴露在潮湿环境中，不会发生尺寸变化。在对热性能要求不是超高的情况下，Semitron ESd 420V是一款高性价比的替代选材。

此款抗静电PEEK的表面电阻率为106 - 109 ohms/sq。Semitron ESd 480的尺寸稳定性非常高，因此成为临界测试夹具的理想选材。它的耐化学性绝佳，极适用作晶片传送，和湿制程用工具的结构件，而这些应用中，静电耗散也是非常重要的。作为跨骏Semitron ESd 材料，Semitron ESd480容易被介电击穿。（参见本页的注意事项。）

具有稍高电阻率的PEEK材料，其物理性能与Semitron ESd 480相似。

• 表面电阻率：1010 - 1012 ohms/sq.

采用专有合成云母增强，Semitron ESd 500HR提供了绝佳的低摩擦特性和尺寸稳定性。凡是使用 PTFE的场合，都可考虑Semitron ESd 500HR 。用于控制静电排放时，它是理想的选材。颜色为白色。

• 表面电阻率：1010 - 1012 ohms/sq.
• 热至260°C
• 隔热
• 极低的摩擦系数
• 可耐化学品广泛

插件

由Semitron ESd 500HR板材加工而的抗静电插件，降低了敏感元件因静电排放而导致的损坏。（先前材料：陶瓷）

• 材料安全数据表
• 产品性能数据表

Semitron ESd 520HR是行业内第一款集静电耗散(ESd)、高强度和耐热性于一体的材料。该种新型的ESd材料用在测试设备上，是加工嵌套（nest）、测试座（socket）和接触器（contactor）的理想选材，也是其他元件操作部件的理想选材。520HR在高压（>100V）下能抗介质击穿，这是它的独特及关键特性。下图呈现的是：通常用在自动测试分类机上，塑料材料表现的电性能。甚至只是暴露于中等电压下，传统碳纤维增强产品的导电性也呈现不可逆转的增强。

在机械性能都可以胜任的情况下，只有Semitron ESd 520HR在整个电压范围内能够维持其电性能。

表面电阻率：1010 - 1012 ohms/sq.

IC元件测试夹具

由于集静电耗散(ESD)和高机械强度于一身，最近一家测试夹具制造商将Semitron ESd 520HR用于加工集成电路测试头。Semitron ESd 520HR的机械强度高，因此可延长测试头的使用寿命，同时，增大每小时的测试单元。

Semitron ESd 520HR用于测试嵌套（nest）、测试座（socket）和接触器（contactor）时，是第一款在抗静电性能和所有机械性能上都能满足要求的产品，因此非常可靠。它的抗静电性能（表面电阻率为1010 到 1012 ohms/sq.）足够最小化漏电（leakage）风险。Semitron ESd 520HR在电压高于100伏时，还能保持其电阻率，这点也极为重要。

• 产品性能数据表

CMP优化的PET-P

Semitron CMP LL5属于下一代材料，专为尽可能大幅度提高CMP工具的性能而研发。它的颜色为白色，不透明。

• 超长寿命材料--5倍于 PPS
• 在CMP应用场合，温度达到 60°C 时的理想选材
• 氧化化学反应中性能最佳--8倍于 PPS

CMP优化的PAI

Semitron CMP XL20是由三菱化学先进材料研发团队开发的顶级CMP材料，它的颜色为炭黑色，不透明。

• 大大降低单片晶圆的成本
• 性能超越PPS，在大多数工序中达到20倍
• 高强度和刚度，带来更少的边缘损坏和更佳的一致性