Aperçu du produit
Les produits pour semi-conducteurs Semitron ont été développés afin d’aider les designers et les utilisateurs à optimiser la performance de l’équipement de fabrication d’appareils. En plus de la fabrication d’appareils, beaucoup de ces matériaux sont idéaux pour des environnements spécifiques exigeant une résistance à l’usure, une résistance chimique et la maitrise de l’électricité statique.
Deux groupes de produits ont été développés. L’un, très approprié pour les applications de test et de manutention d’appareils, l’autre pour l’utilisation de CMP de nouvelle génération.
Le Semitron MP 370 offre un plus grand choix dans le design et la fabrication de prises d’essais de précision pour l’industrie de fabrication des semi-conducteurs. Tout en maintenant le même taux excellent d’absorption d’humidité et la haute résistance thermique du PEEK, le Semitron MP 370 présente une plus grande résistance mécanique et stabilité dimensionnelle. La formule sur mesure permet d’obtenir un détail plus fin et plus propre grâce à son excellente usinabilité.
Le Semitron MDS 100 possède une remarquable combinaison de résistance, de rigidité et de stabilité. Il a été développé pour être utilisé dans des environnements d’applications non contrôlés ou quand un haut niveau de précision est requis. Il est un choix idéal pour les supports d’essais de semi-conducteurs, les porteurs et les éléments fixes dans les équipements d’essais et des équipements de conditionnement.
Semitron ESd 225 est idéal pour les éléments fixes utilisés dans la fabrication de lecteurs de disques durs ou pour la manutention de plaquettes (wafers) en silicone en cours de fabrication. Ce produit est de couleur «tanné».
Peignes à plaquettes
Les peignes à plaquettes fabriqués à partir du Semitron® ESd 225 éliminent les problèmes de décharge électrique sur les équipements de transfert qui causent des millions de dollars de plaquettes détruites chaque année. (Matériaux précédents: Nylon, acétal standard)
Semitron ESd 410c est idéal pour le transport de circuits intégrés dans l’ environnement de dispositifs d’essais. Il est noir et opaque.
Handling Trays
Trays manufactured from Semitron® ESd 410C dissipate static charges reliably and are dimensionally stable. (Prior materials: PPS, PEEK, Vespel® PI)
Semitron ESd 420 est le seul produit plastique vraiment dissipateur de charges électrostatiques pour l’utilisation dans des applications soumises à des températures élevées.
Le Semitron ESd 420V offre une performance de dissipation de 106 - 109 ohms/carré dans toute sa plage de performance vs température. C’est un matériau rigide, hautement résistant, qui n’est pas sujet aux variations dimensionnelles lors d’une exposition à l’humidité. Semitron ESd 420V est une alternative avantageuse sur le plan coût-efficacité pour les applications qui n’exigent pas la performance thermique des matériaux de très haute performance.
Ce matériau dissipateur de charges électrostatiques offre une plage de dissipation de 106 - 109 ohms/carré. Semitron ESd 480 a une très bonne stabilité dimensionnelle, ce qui le rend idéal pour les applications à éléments fixes d’essais critiques. Sa résistance chimique exceptionnelle le rend très approprié pour la manutention de plaquettes (wafers) et pour d’autres applications structurelles dans procédés par voie humide où la dissipation de charges électrostatiques est importante. Comme tous les matériaux Semitron ESd de Mitsubishi Chemical Advanced Materials, Semitron ESd480 n’est pas soumis à la décharge disruptive. (Se référer à la remarque technique sur cette page).
Un matériau à base de PEEK qui offre des propriétés physiques similaires et dont la résistivité est légèrement supérieure à celle du Semitron ESd 480.
Renforcé par un mica synthétique propriétaire, le Semitron ESd 500HR offre une excellente combinaison de propriétés de faible frottement et de stabilité dimensionnelle. Il est recommandé de considérer le Semitron ESd 500HR partout où le PTFE est utilisé. Il est idéal pour les applications où l’élimination contrôlée des charges électrostatiques est critique. Il est blanc.
Inserts
Les inserts dissipateurs de charges électrostatiques usinés à partir d’une plaque en Semitron ESd 500HR réduisent l’endommagement des appareils sensibles à la décharge électrostatique. (Matériau précédent: Céramique)
Le Semitron ESd 520HR a une des meilleures combinaisons de dissipation de charges électrostatiques de l’industrie (ESd), une haute résistance mécanique et thermique. Ce nouveau matériau ESd est idéal pour réaliser des porteurs et contacteurs pour les équipements de test et pour d’autres composants d’équipements de manutention dans l’industrie des semi-conducteurs. La caractéristique principale du Semitron ESd 520HR est sa résistance unique à la décharge disruptive à des tensions élevées (>100V). Le graphique ci-dessous montre la performance électrique des matériaux plastiques utilisés communément dans les dispositifs d’essais automatiques. Les produits traditionnels chargés de fibres de carbone, deviennent plus conducteurs de manière irréversible quand ils sont exposés à une tension même modérée.
Seul le Semitron ESd 520HR reste performant dans toute la plage de tensions, tout en offrant la performance mécanique requise dans des applications exigeantes.
Dissipation de charges électrostatiques (Résistivité de surface, ohms/carré) | |
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Semitron® ESd 225 | 1010 - 1012 |
Semitron® ESd 410C | 104 - 106 |
Semitron® ESd 420 | 106 - 109 |
Semitron® ESd 500HR | 1010 - 1012 |
Semitron® ESd 520HR | 1010 - 1012 |
IC Device Testing Fixtures
A test fixture manufacturer recently began using Semitron ESd 520HR that combines electrostatic dissipation (ESD) and high mechanical strength, to make integrated circuit test heads. The high mechanical strength of Semitron ESd 520HR results in longer useful life of the test heads and, thus, greater units (tested) per hour.
La ligne de produits Semitron CMP a été développée pour donner aux designers de nouveaux outils et aux utilisateurs finaux, à l’avant-garde, une possibilité d’augmenter le nombre d’appareils produits par plaquette avec succès, tout en diminuant les coûts de consommables par appareil. Ceci a été accompli en augmentant la durée de service de la bague de retenue.
CMP optimisé PET-P
Le Semitron CMP LL5 est l’un des matériaux de la nouvelle génération développé pour augmenter de manière significative la performance possible des outils en CMP. Il est de couleur blanc et opaque.
CMP optimisé PAI
Le Semitron CMP XL20 est le matériau CMP premium, développé par l’équipe R&D de Mitsubishi Chemical Advanced Materials. Il est de couleur charbon de bois/noir et opaque.
Il est important de savoir comment la tension appliquée affecte la résistance d’un matériau. Certains matériaux présentent une haute résistance à des tensions basses, mais ils peuvent chuter quand ils sont soumis à des conditions plus rudes. Ceci est dû à la décharge disruptive et irréversible. Ce diagramme illustre l’effet des applications séquentielles de 100 à 1000 volts et ensuite un retour à 100 volts pour déterminer l’hystérèse. L’électricité statique pouvant s’élever à plusieurs milliers de volts, il faut considérer une performance uniforme à travers la plage de tensions. Certains matériaux sont très inconstants et varient au «fil» de l’usinage.