Semitron® MPR1000

Semitron^® MPR1000 ist ein neues Konstruktionsmaterial für die Halbleiterindustrie, insbesondere für Anwendungen in Vakuumkammern, wie z. B. bei Ätz-, CVD oder Ionisierungsprozessen.

Seine Entwicklung basiert auf drei Kernanforderungen:

1. Langlebigkeit – Verlängerte Lebensdauer in Plasmakammern verglichen mit traditionellen Kunststoffen wie z. B. Polyimid (in Ozon bis zu 25fach längere Lebensdauer als Polyimid)
2. Reinheit – Geringer Metallionengehalt und niedrige Ausgasung
3. Preis – Geringe Gesamtkosten verglichen mit traditionellen Materialien für die Anwendung in Vakuumkammern wie Quartz, Keramik oder anderen Hochleistungskunststoffen

• Technisches Datenblatt (Englisch)

• Ideal für den Einsatz in plasmabasierten Vakuumkammern
• In der Regel Verwendung als Klemmringe, Schlitzringe, Schrauben, Stifte und Duschköpfe
• Zentrierstifte, Fixierringe, Isolatoren, Vakuumauflager und Wafer-Führungen